UHP khác “khí tinh khiết thông thường” ở đâu?
Khí độ tinh khiết 5.0 (99,999%) hay 6.0 (99,9999%) chỉ giữ được chất lượng khi mọi bề mặt tiếp xúc đều sạch, nhẵn, không thải khí (outgassing) và không lọt khí từ ngoài vào. Bộ điều áp UHP vì vậy được đánh giá theo độ nhám bề mặt, xử lý bề mặt, vật liệu, thể tích chết và độ rò helium.
Giải thích các thuật ngữ trên datasheet
| Thuật ngữ | Ý nghĩa |
|---|---|
| 10 Ra / 5 Ra microinch | Độ nhám trung bình bề mặt ướt; số càng nhỏ càng nhẵn, ít bám hạt và ẩm |
| Electropolish (EP) | Đánh bóng điện hóa – làm phẳng vi mô và tạo lớp oxit crom giàu, giảm outgassing |
| 316L VAR | Inox 316L nấu lại hồ quang chân không – ít tạp chất phi kim, bề mặt sau EP tốt hơn |
| Tied diaphragm | Poppet liên kết với màng – hỗ trợ đóng, ổn định ở lưu lượng thấp |
| VCR®, HPIC, face seal | Kết nối làm kín bằng gioăng kim loại, không có khe chết như ren côn |
| Leak rate He | Độ rò đo bằng helium, ví dụ 10-8 mbar·l/s – đánh giá độ kín với môi trường |
Các dòng UHP của TESCOM
| Dòng | Đặc điểm theo datasheet |
|---|---|
| 64-3200 | UHP, lưu lượng cao, tied diaphragm, bề mặt 10 Ra; áp vào 150 / 1.000 / 1.500 psig; dải ra 30–200 psig; thân 316L EP hoặc 316L VAR EP; màng Hastelloy® |
| 64-3400 | Hai cấp UHP, tied diaphragm; áp vào 3.500 psig; dải ra 30–150 psig |
| 64-3600 | UHP độ nhạy cao, droop thấp; áp vào 600 hoặc 3.500 psig |
| 64-5000 | UHP cho áp tuyệt đối / dưới khí quyển, từ 50 mm Hg abs |
| 74-2400, 74-3800 | Thân 316L VAR EP, tied diaphragm; 74-3800 lưu lượng cao |
| 74-3000 | Tùy chọn bề mặt 5 Ra hoặc 10 Ra, lưu lượng cao |
| 12 Series, 23 Series | 12: mini UHP IGS/VCR®, thân 316L VAR; 23: in-line, bề mặt 10 Ra |
| 22-2200, 22-5400 | High purity BA grade – lựa chọn kinh tế hơn khi không cần EP |
Gợi ý chọn theo cấp yêu cầu
- Bán dẫn, LED, khí đặc biệt: 64-/74-Series, kết nối VCR, đóng gói phòng sạch.
- Phòng thí nghiệm phân tích vết (ICP-MS, GC-MS): 64-2600, 64-5400, MiniLabo 2 UHP, panel Ultra High Purity Compact Panel.
- Khí tinh khiết công nghiệp: 44-2200, SG-Series, 22-Series.
Lắp đặt đúng cách để giữ độ tinh khiết
- Không mở túi đóng gói kép ngoài phòng sạch hoặc khu vực lắp đặt sạch.
- Dùng gioăng VCR mới mỗi lần tháo lắp.
- Thử rò helium sau lắp đặt.
- Purge bằng khí trơ độ tinh khiết cao trước khi đưa vào vận hành.
- Không dùng băng tan, keo ren trên kết nối UHP.
Fast Group Engineering
Fast Group cung cấp bộ điều áp UHP TESCOM chính hãng, giữ nguyên đóng gói của nhà sản xuất, kèm CO/CQ Emerson theo lô. Gửi yêu cầu về độ nhám, kiểu kết nối, khí sử dụng và áp – chúng tôi sẽ đối chiếu part number và thời gian giao hàng cụ thể.
Ví dụ: chọn regulator cho đường khí N2 UHP tại điểm dùng
- Áp vào từ hệ khí trung tâm khoảng 100–150 psig → các dòng áp vào thấp như 64-3200 (bản 150 psig) hoặc 23 Series phù hợp, không cần bản 3.500 psig.
- Áp ra 30–60 psig → chọn dải 60 psig để điểm đặt nằm trong vùng chỉnh tốt.
- Lưu lượng cao cho nhiều tool → ưu tiên dòng ghi “high flow” (64-3200, 74-3000, 74-3800).
- Kết nối VCR male/female theo hệ ống hiện hữu.
- Bề mặt 10 Ra là chuẩn phổ biến; 5 Ra cho ứng dụng khắt khe nhất.
Khi nào cần regulator áp tuyệt đối?
Một số quá trình cần cấp khí ở áp dưới khí quyển hoặc rất thấp so với chân không: 64-5000 (UHP, từ 50 mm Hg abs) và 44-4600/44-5000 (độ tinh khiết cao) được thiết kế cho vùng áp này. Regulator áp dư thông thường không điều khiển ổn định ở vùng áp tuyệt đối thấp.
Sai lầm thường gặp
- Lắp regulator UHP rồi dùng đồng hồ áp, van thường – tạp chất từ thiết bị phụ làm mất ý nghĩa của regulator UHP.
- Không thử rò helium sau lắp đặt – lỗ rò nhỏ cho ẩm và oxy khuếch tán ngược vào.
- Dùng lại gioăng VCR cũ.
Câu hỏi thường gặp
Có bắt buộc dùng 316L VAR cho phòng thí nghiệm?
Không bắt buộc. VAR + EP chủ yếu cần cho bán dẫn và khí đặc biệt; phòng thí nghiệm thông thường có thể dùng 316L EP hoặc BA grade tùy độ tinh khiết khí.
10 Ra và 5 Ra khác nhau nhiều không?
5 Ra nhẵn hơn, giảm bám hạt và ẩm, thời gian purge ngắn hơn; thường dùng cho ứng dụng khắt khe nhất. 74-3000 có cả hai tùy chọn.
Có dùng kết nối NPT cho UHP được không?
Không nên. Ren côn tạo khe chết và cần chất làm kín; ứng dụng UHP dùng face seal như VCR hoặc kết nối hàn.
Cần tư vấn chọn thiết bị TESCOM?
Gửi part number, nameplate hoặc thông số qua form RFQ, Zalo (+84) 938 888 958 hoặc email minhduc@fastgroup.vn.